蔡司三座標的易耗品看起來不是很多，但是不好好规划好其使用的标准。是非常浪费而且会损害设备都测量精度行为。例如滤芯和测针等。

需要定期更換濾芯，能够有效地保证气路的洁净，保证测量机的正常工作。

蔡司三座標測針特別是常用測針也需要提前準備，因为测针与工件频繁接触会有磨损，属于耗材产品，需要定期更换以确保精度的稳定性及工件测量的重复性;直径过小的小测针，也需要提前预备，在测量时难免会发生耗损，为避免耽误生产需做好备件规划。

蔡司三座標需要注意的是，测头的电气元器件也具有一定的使用寿命。测头的使用寿命到期后，可能会出现测头不复位的情况，有的甚至可能无法使用，对于高灵敏度的测头来说，撞击损坏会直接导致无法修复，为避免现场延误工期，建议根据测头使用频次提前做好备件规划。